| 摘要 |
本发明系关于一种平面基板之微细图案缺陷修正方法及修正装置；也就是说，本发明之平面基板之微细图案缺陷修正方法及修正装置，系藉由合理且有效地组合各个机构，进行缺陷修正，而进行品质稳定之缺陷修正，同时，达到微细图案修正效率之提升。在设置微细图案(肋件)之平面基板上之缺陷部对于修补糊膏来进行填充烧结并且使得突出于肋件规定剖面之多余之突出糊膏、附着在肋件附着缺陷部之多余之肋件成形材料等之肋件规定剖面来对于突出材进行整形加工之缺陷修正方法及装置，包括：修补糊膏填充机构50、糊膏烧结机构60、肋件规定剖面对于突出材呈机械式地进行切削整形之机械切削整形机构70、沿着垂直方向而移动于前述平面基板上之垂直方向移动机构80、搭载前述填充机构和前述烧结机构及前述切削整形机构之顶部、以及沿着平行之平面方向而相对地移动于前述平面基板上之水平方向定位机构40；使得搭载于顶部之各个机构，连动于前述垂直方向移动机构。 |
