发明名称 形成具有能量吸收层之半导体装置的方法及其结构
摘要 一电晶体的预定区域(48和50)系利用埋入式能量吸收层激活。该埋入式能量吸收层(18)在一半导体层(21)之下,该半导体层中已形成一电晶体(51)。在一控制电极(32)与一闸极介电质(30)之任一侧上的该半导体层(21)中形成非晶性区(48和50)。将一能量源(其波长使之不会为该非晶性区或该控制电极所吸收)施加于该电晶体,并由该能量吸收层所吸收。该能量吸收层将该能量转换为热量,其产生之温度高于或等于该非晶性区的熔化温度,而低于该半导体层的熔化温度。由于该热量,使该非晶性区熔化并再结晶,从而变得电性活跃(48’和50’)。然而该控制电极并不熔化。
申请公布号 TW200416893 申请公布日期 2004.09.01
申请号 TW092104228 申请日期 2003.02.27
申请人 摩托罗拉公司 发明人 麦可J. 兰登;威廉 J. 泰勒 二世;大卫 C. 辛
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国