用于具有增高接合表面和多孔过滤嵌入之薄膜框之方法和装置

摘要

本发明提供一种用以保持光微影系统中的光学结构之间的光学间隙之方法和装置。框界定第一和第二相对表面。第一相对表面界定第一开口，第二相对表面界定第二开口。在一观点中，框的至少一边缘具有贯穿它的开口。多孔过滤材料经由框的边缘填满每一开口。在另一观点中，在第一开口周围的第一相对表面上间隔开复数间隔构件。间隔构件具有被配置成与第一光学结构表面紧密配合的实质上共面表面。接合剂密封第一相对表面和第一光学结构之间的第一开口周围之空间。框藉以围住第一光学结构和第二光学结构之间的光学间隙。