圆盘状基板的缺陷检测方法,其装置及光碟用基板的制造方法

摘要

本发明的课题是针对应于藉由同一的光学系来判别并检测光透过材料所构成，且作为圆盘状记录媒体的圆盘状基板的表面及断面内的缺陷的缺陷检测方法，其装置及光碟的制造方法。本发明用以解决手段，缺陷检测装置10是在旋转圆盘状基板12之状态下，从其表面12A藉由照射装置18，将照射光对于表面12A的垂线从旋转方向的一方斜斜地入射于内面，并将在圆盘状基板12的背面12B所反射的反射光依次入射在线性摄影机20，检测因入射光的光路上的缺陷所产生的异常部(实像)与反射光的光路上的异常的(阴影)的距离，而对应于距离来判别为表面缺陷或内部缺陷，仅除去具表面缺陷的圆盘状基板。