耐腐蚀性之构件及其制造方法

摘要

本发明系提供一种耐腐蚀性之构件及其制造方法。用于CVD装置、电浆处理装置等的构件，与腐蚀性气体的反应，或因电浆之蚀刻而消耗，粒子的产生而有制品的污染，良率生产性低的问题。此外，对腐蚀性气体、电浆具耐性的玻璃，因耐热性低、限制可使用的用途。于耐热性高的基材上，至少包含一元素选自2a族、3a族、以及4a族所成群的元素之耐腐蚀性玻璃，特别包覆矽酸铝或矽酸锆系的玻璃热喷镀膜之构件，对于腐蚀性气体及电浆之耐腐蚀性与耐热强度高，粒子的产生少。