真空汲取装置及其操作方法

摘要

一种真空汲取装置，用以控制一室体内的压力，该装置包括一分子汲取机构及一支持汲取机构。支持汲取机构由一马达所转动，此马达同步地转动分子汲取机构及支持汲取机构。另外提供一机构来控制分子汲取机构及支持汲取机构的转速。