| 摘要 |
本发明系关于一种电浆处理装置及电浆处理方法；也就是说，本发明系提供一种能够监视由装置状态变动所造成之加工结果之不均同时在装置状态发生变动之状态下而检测回复状态来进行是否可以处理之判断的电浆处理装置。在具有用以对于控制部10和晶圆2施加电浆处理之处理室1的电浆处理装置，处理室1系具备检测处理室内部之处理状态而输出复数个输出讯号之电浆状态检测手段8、9，控制部10系具备：记忆过去晶圆处理结果资讯和该过去晶圆处理时之电浆状态检测资料及有关于两者之关系式的功能13、由来自电浆状态检测手段8、9之处理室状态检测结果和前述关系式而算出处理结果之预测值的功能11、以及藉由所算出之处理结果之预测值而评价处理室状态的功能12；在晶圆处理后，由相关关系式而算出处理结果之预测值，藉此而监视处理室状态。 |
