金属氧化膜之形成方法、及该方法所使用之微波电源装置

摘要

本发明之利用电浆CVD法来形成金属氧化膜之方法，系藉由低输出区域之辉光放电，进行以有机金属为主体之反应后，藉由高输出区域之辉光放电，进行有机金属与氧化性气体之反应，藉此，在塑胶基体表面，透过有机性层形成金属氧化膜。依此方法，可在塑胶等基体之表面，利用电浆CVD法形成密合性及柔软性、可挠性优异之薄膜。