表面改质方法

摘要

一种藉着使用电浆来将要被处理的基板的表面改质的方法包含的步骤为将基板的温度从200℃调整至400℃，将包含氮原子的气体或包含惰性气体及包含氮原子的气体的混合物气体引至一电浆处理容室内，将电浆处理容室中的压力调整至13.3Pa(帕)以上，在电浆处理容室中产生电浆，及将电浆中等于或小于10eV(电子伏特)的离子注射至要被处理的基板内。