微针头阵列制造方法

摘要

一种微针头阵列制造方法，以较低材料成本及简易制程制造出具有斜面端头的中空微针头阵列，此种微针头由于端末尖锐而易于侵入生物组织，有利于药物注射与微量采样之应用；其制造程序主要是先在矽晶圆上进行湿蚀刻，形成具有斜面几何的缺凹区，然后利用此一缺凹区，后续进行镀着金属、曝光显影或微加工等方式，来制造微针头阵列。