| 摘要 |
本发明的目的为：本发明要提供一种多段式处理装置，不会使驱动机构复杂化且能够将其配置在有限的空间内。本发明的构造为：处理装置是作成：让处理单元(1)多段状地积叠在上下方向。处理单元(1)，是由：包围基板的周围的杯部(2)、与保持住基板使其旋转的夹头(3)所构成，杯部(2)是作成可对夹头(3)进行升降。使缸体单元(6)收缩而让夹头(3)的上端面位于较杯部(2)的上端稍微上方，在该状态下，将基板(W)载置于夹头(3)且加以吸引固定。然后，使缸体单元(6)伸长而将基板(W)收到杯部(2)内，在该状态下，从显影液供给喷嘴(9)将显影液滴到基板(W)的表面，并且驱动马达(17)，经由驱动轴(18)及正时皮带(23)使夹头(3)(基板W)旋转，使显影液遍布到基板W的表面。 |
