遮罩及其制造方法,及使用该遮罩之半导体装置制造方法

摘要

本发明之目的在于提供一种不致发生翘曲或变形，高精度且可靠性高的遮罩。此外，本发明提供一种在离子植入技术中，可施行高精度离子植入的(模板遮罩)遮罩。本发明提供一种无须形成光阻图案，高精度且可靠性较高的离子植入方法。本发明提供的遮罩系具备有：设有遮罩图案部与至少1个pn接合部的板状体、及对上述pn接合部施行电流供应的电流供应部；而藉由对上述pn接合部进行通电引起帕尔帖效应，俾可控制上述遮罩图案部的温度。此外，采用此遮罩便可在未形成光阻图案之情况下，形成可靠性较高的离子植入区域。