化学机械研磨辅助之剥离式微图案

摘要

一种微电子装置之方法及结构；微电子装置包含一第一薄膜于一基材上、一第一抗研磨层于第一薄膜上、一第二薄膜于第一抗研磨层上、一第二抗研磨层于第二薄膜上，其中此第一和第二抗研磨层包含类钻碳。此第一薄膜包含一电阻性材料，而第二薄膜包含低阻抗传导材料。此第一薄膜系为一电阻，且具体实施为一磁性读取感测器。电阻性材料对于磁场是敏感的。此装置进一步包含一大体上为垂直的接合处，介于第一与第二薄膜间，且一介电薄膜邻接电阻性材料。