改良微电子电路性能之方法

摘要

本发明揭示一积体电路电晶体结构之方法及结构，结构包括闸极导体，其有一第一导电材料及第二材料。本发明具有一邻近闸极导体之非变形隔片，及一间隙于闸极导体与隔片之间。第一导电材料可为多晶矽，第二导电材料可为金属或聚合物。第二材料作为隔片之空间保持器。本发明中，间隙内保有四周大气及降低闸极导体之电阻。