| 主权项 |
1.一种晶圆电性的量测设备,包括: 一测试平台,用以放置一晶圆; 一平台,固定在该测试平台之侧边处; 一导电板,放置在该平台上;以及 一测试装置,设置在该测试平台的上方,且该测试 装置具有复数个针尖, 其中该测试装置上之该些针尖能同时与该导电板 接触。 2.如申请专利范围第1项所述之晶圆电性的量测设 备,其中该导电板之材质包括金或白金。 3.如申请专利范围第1项所述之晶圆电性的量测设 备,其中该测试装置包括: 一针测板,该针测板具有该些针尖以及与该些针尖 电性连接的电路;以及 一测试头,该针测板系固定在该测试头上,并且与 该测试头电性连接。 4.如申请专利范围第1项所述之晶圆电性的量测设 备,更包括: 一控制系统,用以控制并操作该测试装置;以及 一传输线,配置在该控制系统以及该测试装置之间 。 5.一种量测晶圆电性的方法,包括: 提供一测试装置,该测试装置具有复数个针尖; 将该测试装置之该些针尖与一导电板电性接触,以 量测出该测试装置之电阻値,其中该导电板之电阻 値足够小而能省略;以及 将该测试装置之该些针尖与一晶圆表面接触,以量 测该晶圆之电性。 6.如申请专利范围第5项所述之量测晶圆电性的方 法,当量测该晶圆电性之结果为异常时,则立即将 该测试装置之该些针尖与该导电板接触,量测该测 试装置之电阻値,以确认该测试装置之电阻値是否 正常。 7.如申请专利范围第5项所述之量测晶圆电性的方 法,其中该导电板之材质包括金或白金。 8.一种量测针测板(probe card)之电阻値的方法,包括: 提供一针测板,该针测板具有复数个针尖以及与该 些针尖电性连接之电路;以及 将该针测板之所有该些针尖与一导电板电性接触; 逐一选择其中二该些针尖以及对应的电路以构成 一回路,并通入电流并量测电压,以取得该针测板 之电阻値,其中该导电板之电阻値足够小而能省略 。 9.如申请专利范围第8项所述之量测针测板之电阻 値的方法,其中该导电板之材质包括金或白金。 图式简单说明: 第1图是依照本发明一较佳实施例之测试晶圆电性 的设备示意图;以及 第2图是量测针测板的电阻値之示意图。 |
