热探针之监视晶圆之形成方法和该监视晶圆

摘要

一种热探针(thermo–probe)之监视晶圆之形成方法，该热探针用以测试一般晶圆之品质，该方法包含在一加热炉中，在未掺杂之多晶矽晶圆上成长多晶矽膜；和使该多晶矽晶圆在1025℃之温度下，在有／无氧化下，退火20秒。