制造原盘与信息记录介质的方法

摘要

一种波束辐照仪，包括一用于产生光束、电子束和离子束中至少之一的波束发生器(41)，以及一用于聚焦从波束发生器(41)发出的波束的聚焦镜头(48)。该波束辐照仪包括至少第一和第二调焦机构(71)和(72)，其中每个调焦机构相对于构成聚焦镜头的同一透镜系统控制波束的焦点位置，以便利用聚焦镜头(48)把波束聚焦到辐照物体(40)上，从而可获得细微的波束光斑并进行可靠而稳定的调焦。

主权项

1.一种用于制造原盘的方法，该原盘用于制造其上形成有细微凹凸的信息记录介质，用于制造信息记录介质的原盘的该方法，其特征在于信息记录介质用原盘通过以下步骤获得：曝光步骤：其通过使用包括用于产生光束、电子束和离子束中至少之一的波束发生器，以及用于聚焦从波束发生器发出的波束的聚焦镜头的波束辐照仪，在被涂敷到原盘基片上的光致抗蚀剂层上进行曝光处理，以及显影处理步骤：其在光致抗蚀剂层上进行显影处理。