发明名称 | 热泡式微型惯性感测元 | ||
摘要 | 本发明提供一种热泡式微型惯性感测元,是为一以微加工技术形成的微型装置,其是在一基板上设置一加热器,且在加热器的四周对称设有四组温度感测元,以感测加热器周围的温度变化,在基板上设有一封盖,其是包覆加热器及温度感测元以密封的,使一液相流体填充于封盖与基板形成的空间内;利用加热器加热液相流体,使之汽化形成一热汽泡于液相流体环境中,借由水的表面张力及温度控制可以控制汽泡的大小,以使加热器四周的温度感测元感测到温度分布的变化,以作为一倾斜计以感测倾斜的方向及大小,亦可作为一加速规以量测加速度的方向及大小。本发明具有无质量块、反应速度快,灵敏度高、体积小等优点。 | ||
申请公布号 | CN1525145A | 申请公布日期 | 2004.09.01 |
申请号 | CN03106450.7 | 申请日期 | 2003.02.26 |
申请人 | 祥群科技股份有限公司 | 发明人 | 周正三 |
分类号 | G01D21/02;G01D5/12 | 主分类号 | G01D21/02 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
主权项 | 1.一种热泡式微型惯性感测元,其特征在于,包括:一基板;一加热器,设置在基板上;至少二温度感测元,分别对称设置在加热器的周围且位于基板上,以感测加热器周围的温度变化;一封盖,设置在基板上且包覆加热器及温度感测元以密封之;以及一液相流体,填充于封盖与基板的空间内。 | ||
地址 | 台湾省新竹科学工业园区 |