发明名称 |
象素单元及其制作方法 |
摘要 |
一种象素单元,它具有制作在衬底上的薄膜晶体管结构。信号导体被图形化在薄膜晶体管结构上,且透明导电材料组成的第一图形化层覆盖着信号导体。第一图形化层提供图形,用来腐蚀薄膜晶体管结构的沟道区。介电层被制作在象素单元上且包括直至透明导电材料组成的第一图形化层的通孔。第二透明导电材料层延伸穿过通孔,以便接触第一图形化层,其中第二层自对准于晶体管结构。 |
申请公布号 |
CN1164972C |
申请公布日期 |
2004.09.01 |
申请号 |
CN01142600.4 |
申请日期 |
2001.12.04 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
伊文·G·科尔根;凯·R·施莱尤彭;辻村隆俊 |
分类号 |
G02F1/136;G02F1/1343;G03F7/20;H01L29/786 |
主分类号 |
G02F1/136 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王永刚 |
主权项 |
1.一种象素单元,它包含:制作在衬底上的薄膜晶体管结构;在薄膜晶体管结构上图形化的信号导体;透明导电材料组成的第一图形化层覆盖该信号导体,该第一图形化层提供图形,用来腐蚀薄膜晶体管结构的沟道区;制作在象素单元上的介电层,它包括直至透明导电材料构成的第一图形化层的通孔;以及延伸穿过通孔以便接触第一图形化层的第二透明导电材料层,其中该第二层自对准于晶体管结构。 |
地址 |
美国纽约 |