发明名称 Etching films
摘要
申请公布号 GB0417098(D0) 申请公布日期 2004.09.01
申请号 GB20040017098 申请日期 2004.07.30
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/461;H01L21/4763;H01L21/76;H01L31/107 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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