纳米级滚珠丝杠及其驱动方法

摘要

本发明公开了一种纳米级滚珠丝杠及其驱动方法。它依次具有纳米级驱动部件、丝杠、滚珠圆柱螺母，并由支撑座固定，在纳米级驱动部件上设有半导体制冷器、驱动面，纳米级驱动部件由驱动装置驱动。纳米级滚珠丝杠的驱动方法是一级进给由滚珠丝杠完成，同时通过半导体制冷器对丝杠降温，即可以提高一级进给的精度又可以减少丝杠传动时产生的热量对环境温度的影响，二级进给由纳米级驱动部件完成，通过半导体制冷器功率的微弱变化使丝杠的长度纳米级增长或缩短，控制进给量达到10nm精度的方法。本发明较传统结构滚珠丝杠最大优点就在于可以达到10nm的定位精度，驱动力可以达到500kg，结构简单，安装简便。

主权项

1.一种纳米级滚珠丝杠，其特征在于它依次具有纳米级驱动部件(1)、丝杠(2)、滚珠圆柱螺母(3)，并由支撑座(4)固定，在纳米级驱动部件(1)上设有半导体制冷器(5)、驱动面(6)，纳米级驱动部件(1)由驱动装置驱动。