用于测量波阵面像差的方法和装置

摘要

本发明披露了一种用于测量波阵面像差的方法和装置。分束器把具有像差的波阵面分成两个部分，反射镜阵列把每个部分聚焦成为多个离散线，一个部分的离散线和另一个部分的离散线具有不同的方向，成像装置检测所述离散线，以便确定波阵面像差。所述方法包括把波阵面分成两个部分，聚焦所述每个部分成为多个离散线，一个部分的离散线和另一个部分的离散线具有不同的方向，成像装置检测所述离散线，以及检测与所述离散线相关的信息。

主权项

1.一种用于检测从光学系统发出的波阵面的像差的检测器，所述检测器包括：分束器，其用于接收波阵面并把波阵面分成具有第一偏振的第一部分和具有第二偏振的第二部分，所述第一偏振可以与所述第二偏振区分开；第一反射镜阵列，其反射并聚焦所述第一部分以便形成具有第一方向的第一多个离散线；第二反射镜阵列，其反射并聚焦所述第二部分以便形成具有与所述第一方向不同的第二方向的第二多个离散线；以及成像装置，其用于检测所述第一多个离散线和所述第二多个离散线。