探测器装置和探测器测试方法

摘要

本发明的探测器装置(20)具有接触负荷监视装置(10)。该接触负荷监视装置，利用配置在载置台下部空间中的位移传感器(11)，检测过度驱动时，从探测器作用载置台上的接触负荷所产生的载置台的位移量作为下沉量。将该下沉量与相关表对照。算出接触负荷。在该接触负荷与设计接触负荷比较而不足的情况下，使载置台进一步过度驱动。

主权项

1.一种检查被检查体W的电气特性的探测器装置，该探测器装置具有：载置被检查体，可在X、Y、Z和θ方向移动的载置台；探测器卡，该探测器卡配置在该载置台的上方，具有多个探测器；接触负荷监视装置，该接触负荷监视装置具有至少一个位移传感器和控制装置，可以监视在该过度驱动时，从该探测器作用在所述载置台上的接触负荷；该位移传感器配置在载置台的下部空间内，可以测定在过度驱动时，从该探测器作用在所述载置台上的接触负荷在该载置台下面侧的基准面上引起的位移量，作为下沉量；该控制装置具有与该载置台的基准面的下沉量和接触负荷相关的表，由所述传感器测定的所述位移量和所述相关表，算出接触负荷；在接触负荷没有达到给定设计接触负荷的情况下，使载置台进一步升降，可使接触负荷达到给定的设计接触负荷。