基于热位移的微进给系统

摘要

本发明公开了一种在恒温室工作的基于热位移的微进给系统。它具有一级进给装置和二级进给装置，一级进给装置采用滚珠丝杆，二级进给装置在微位移工作腔内，它具有变形体，变形体上设有前、后几个定位块，定位块上、下设有隔热板，前、后两隔热板上分别设有前压力调节螺丝、后压力调节螺丝，在变形体上间隔设有冷源热源驱动器，冷源热源驱动器相应处设有温度感知器，变形体一端设有位移感知器。本发明的优点是：1)在微进给机构中，直接用变形体的热位移作为微进给，从而消除大部分链路，提高进给精度。2)变形体取材容易，成本适中，且承受力较大。3)因变形体的热位移变化缓慢，故此微进给机构适合于位置控制。4)二级进给机构，既可以粗进给，也可以微进给。

主权项

1.一种基于热位移的微进给系统，其特征在于它具有一级进给装置[9]和二级进给装置[7]，一级进给装置和二级进给装置都在恒温室[13]内，一级进给装置采用滚珠丝杆[10]，二级进给装置在微位移工作腔壳体[11]内，它具有变形体[5]，变形体上设有前、后两定位块[12]，定位块上、下设有隔热板[1]，前、后两隔热板上分别设有前压力调节螺丝[4]、后压力调节螺丝[2]，在变形体上间隔设有冷源热源驱动器[3]，冷源热源驱动器相应处设有温度感知器[8]，变形体一端设有位移感知器[6]。