| 发明名称 | 平行振动式微型电场传感器 | ||
| 摘要 | 一种平行振动式微型电场传感器，包括激振部分1和感应部分2；感应部分2由屏蔽电极3和感应电极4构成；屏蔽电极3上面有栅孔5。在激振驱动力的作用下，屏蔽电极3与感应电极4发生周期性平行相对运动。与竖直振动式电场传感器相比，本传感器振动时空气阻尼小，激振驱动方式灵活，有利于减少激振信号与感应信号间的电干扰。 | ||
| 申请公布号 | CN1525181A | 申请公布日期 | 2004.09.01 |
| 申请号 | CN03106433.7 | 申请日期 | 2003.02.25 |
| 申请人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明人 | 夏善红;白强 |
| 分类号 | G01R29/12 | 主分类号 | G01R29/12 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 戎志敏 |
| 主权项 | 1.一种平行振动式微型电场传感器，包括：激振部分(1)，产生平行驱动力；感应部分(2)，输出平行振动力。 | ||
| 地址 | 100080北京市海淀区中关村路17号 | ||