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发明名称 SUBSTRATE-HOLDER
摘要
申请公布号 EP1451817(A1) 申请公布日期 2004.09.01
申请号 EP20020779423 申请日期 2002.09.26
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 KREUDER, GERD;KAUSSEN, HANS, GUENTHER;MICHELS, FRANK
分类号 C23C14/50;G11B7/00;G11B7/26;H01L21/687;(IPC1-7):G11B7/26;B65G47/90 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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