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发明名称 Method of coating microelectronic substrates
摘要
申请公布号 AU2003294557(A8) 申请公布日期 2004.08.30
申请号 AU20030294557 申请日期 2003.12.02
申请人 MICELL TECHNOLOGIES, INC. 发明人 DOUG TAYLOR;MARK I. WAGNER;JAMES B. MCCLAIN;STEPHEN M. GROSS;DAVID E. BRAINARD;JAMES P. DEYOUNG
分类号 B05D1/18;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/288;(IPC1-7):B05D1/00 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
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