| 发明名称 |
Spülgefäß mit äußerst reiner Flüssigkeit |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60006460(T2) |
申请公布日期 |
2004.08.26 |
| 申请号 |
DE2000606460T |
申请日期 |
2000.07.12 |
| 申请人 |
VACO MICROTECHNOLOGIES, VOIRON |
发明人 |
ORAVEC, VICTORIA |
| 分类号 |
B08B3/10;B08B3/12;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/10 |
主分类号 |
B08B3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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