| 发明名称 |
Justagehorde und Verfahren zur Justierung einer Hubeinrichtung in einer Bestückungseinheit für Waferhorden |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10239311(B4) |
申请公布日期 |
2004.08.26 |
| 申请号 |
DE20021039311 |
申请日期 |
2002.08.27 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
WEIS, ROBERT;HABERLAND, HARALD |
| 分类号 |
H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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