| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung für einen mikromechanischen optischen Modulator mit meheren Elektroden |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69729909(D1) |
申请公布日期 |
2004.08.26 |
| 申请号 |
DE19976029909 |
申请日期 |
1997.04.30 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC., MURRAY HILL |
发明人 |
YURKE, BERNARD |
| 分类号 |
G02B26/02;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/02 |
主分类号 |
G02B26/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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