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发明名称 Film forming apparatus for filling fine pores of a substrate
摘要
申请公布号 EP0595624(B1) 申请公布日期 2004.08.25
申请号 EP19930308579 申请日期 1993.10.27
申请人 ULVAC, INC. 发明人 OBINATA, HISAHARU;KIYOTA, TETSUJI;TOYODA, SATORU;KADOKURA, YOSHIYUKI
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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