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发明名称 Method for the dynamic adjustment of the position of an element in an optical system
摘要
申请公布号 EP1209502(B1) 申请公布日期 2004.08.25
申请号 EP20010126635 申请日期 2001.11.08
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 AUBELE, KARL-EUGEN
分类号 B81C99/00;B81B7/00;G02B7/02;G02B7/08;G03F7/20;G05D3/12;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/02 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
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