| 发明名称 |
Detoxifying exhaust gases from CVD processes |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2398576(A) |
申请公布日期 |
2004.08.25 |
| 申请号 |
GB20040003739 |
申请日期 |
2004.02.19 |
| 申请人 |
* KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
MASANOBU * OGAWA |
| 分类号 |
B01D53/46;B01D53/68;B01D53/70;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;B01D53/72 |
主分类号 |
B01D53/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
