用于纯化制程的密封治具

摘要

一种用于纯化制程的密封治具，是包含有一本体、一封盖、一过滤层及一固定装置。其中该本体与该封盖是能组合在一起形成一密闭的容器，而该过滤层是至少与该容器及该封盖之一结合，用以供纯化时的气体通过，而固定装置则是设在该本体与该封盖之间，用以限制该封盖与该本体的相对位移，据此可用于高压及高温的制程中以提高产率。

主权项

1、一种用于纯化制程的密封治具，是使未纯化的材料于该治具内受热后所产生的气体能够透出予以收集，其特征在于，该治具包含有：一本体，其内部中空供未纯化的材料放置，且具有一与该内部连通的取放开口；一封盖，是用以组设在该本体的取放开口上；一过滤层，是至少设置在该本体与该封盖的一的表面上，且能使本体内部所产生的气体透出；以及至少一个固定装置，其能与该封盖及本体结合，且于该封盖脱离该本体的方向上产生限制作用。