发明名称 一种提高氮化硅陶瓷抗氧化性能的表面改性方法
摘要 本发明涉及一种提高氮化硅陶瓷高温抗氧化性能的表面改性方法,包括:(1)氮化硅陶瓷在700~1500℃温度下氧化1~40小时;(2)经(1)处理的氮化硅陶瓷在惰性气氛、还原性气氛、N<SUB>2</SUB>气氛、CO<SUB>2</SUB>气氛其中一种或以上混合气氛下,在700~1500℃温度下保温1~50小时;(3)经(2)处理的氮化硅陶瓷在1mol%-50mol%浓度的HF溶液中用腐蚀法将阳离子萃取后的氧化层蚀除。
申请公布号 CN1522986A 申请公布日期 2004.08.25
申请号 CN03140387.5 申请日期 2003.09.03
申请人 华南理工大学 发明人 吴建青;曾鑫俊;袁芳丽;饶平根;叶建东
分类号 C04B35/584;C04B41/80;C04B41/91 主分类号 C04B35/584
代理机构 广州粤高专利代理有限公司 代理人 何燕玲
主权项 1、一种提高氮化硅陶瓷高温抗氧化性能的表面改性方法,其特征在于包括:(1)氮化硅陶瓷在700~1500℃温度下氧化1~40小时;(2)经(1)处理的氮化硅陶瓷在惰性气氛、还原性气氛、N2气氛、CO2气氛其中一种或以上混合气氛下,在700~1500℃温度下保温1~50小时;(3)经(2)处理的氮化硅陶瓷在1mol%-50mol%浓度的HF溶液中用腐蚀法将阳离子萃取后的氧化层蚀除。
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