硅基液晶显示器用高反射率薄型镜面电极

摘要

本实用新型涉及一种硅基液晶显示器，特别是涉及一种硅基液晶显示器的镜面电极，属于信息科学技术学科的微电子应用技术领域。LCoS显示器是一类反射式LCD，在设计完成LCoS显示芯片电路的结构之后，必须考虑其光学性能。其中最重要的参数是亮度。研究工作表明在经过CMP处理的6英寸硅片上沉积400nm厚的Al(Cu含量5％)合金，用全波谱标准平行光照射Al(Cu)合金镜面，反射率比较低，本实用新型引入整平工艺(IC工艺称形成平坦绝缘层的技术为整平工艺)用300nm厚的纯Al膜制镜面电极，大大提高了反射率，在可见光范围内可得到不低于90％的反射率，得到了很好的有益效果。

主权项

1.一种硅基液晶显示器用高反射率薄型镜面电极，其特征在于：它是由透明硬质平板玻璃(1)、透明薄膜导电电极(2)、TN型液晶材料(3)、镜面电极(5)、LCoS显示芯片(6)依次叠加构成，透明薄膜导电电极(2)和LCoS显示芯片(6)之间是支撑垫(4)。