高密度电感器及其制造方法

摘要

一种生产高密度电感器的方法包括以下步骤：形成螺线形线圈，密封该线圈于芯部件的内部，以及在芯部件的外部形成用于允许导电到线圈的终端电极。在此方法中，线圈是通过重复通过薄膜形成工艺形成布线层的工艺和通过薄膜形成工艺在该布线层上形成另一个布线层的工艺来堆积布线层而形成的。通过此生产方法，可以制作高纵横比的线圈。此外，电感器是通过芯部件中只封装线圈的方式设计的。通过此设计，可以使电感器很紧凑。

主权项

1.一种高密度电感器，包括：螺线形线圈；以及以与所述的线圈产生的磁力线的路径相一致的方式设置的芯部件；其中，所述的线圈具有在厚度方向上堆积了多个布线层的形式，以及该布线层是通过薄膜形成工艺形成的。