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发明名称 Vacuum coating forming device
摘要
申请公布号 EP1026723(B1) 申请公布日期 2004.08.25
申请号 EP19990118321 申请日期 1999.09.15
申请人 CHUGAI RO CO., LTD. 发明人 KISODA, KINYA;FURUYA, EIJI;OHIGASHI, RYOICHI
分类号 C23C14/32;C23C14/24;H01J37/32;H05H1/54;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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