一种蚀刻方法

摘要

本发明提供一种在液晶显示面板上进行蚀刻的方法，该液晶显示面板包含有基板，透明导电层设于该基板表面，以及遮罩层覆盖于该透明导电层上，该方法是先将该基板浸泡于草酸蚀刻液中，然后利用导电度计检测该草酸蚀刻液的导电度，并根据导电度值利用加水系统补充水分以调整该草酸蚀刻液浓度，使该草酸蚀刻液浓度维持在预定浓度范围内，以除去基板上未被遮罩层覆盖的透明导电层，形成画素电极。

主权项

1.一种液晶显示面板的画素电极的蚀刻方法，该液晶显示面板包含有基板，透明导电层设于该基板表面，以及遮罩层覆盖于该透明导电层表面，以用来定义该画素电极的图案，该蚀刻方法包含下列步骤：使该基板浸泡于草酸蚀刻液中；检测该草酸蚀刻液的导电度，并根据该导电度调整该草酸蚀刻液浓度，以使该草酸蚀刻液浓度维持在预定浓度范围内；以及利用该草酸蚀刻液除去未被该遮罩层覆盖的该透明导电层，以形成该画素电极。