| 发明名称 |
Optical encoder and method of fabricating its sensor head |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2368906(B) |
申请公布日期 |
2004.08.25 |
| 申请号 |
GB20010016044 |
申请日期 |
2001.06.29 |
| 申请人 |
* MITUTOYO CORPORATION |
发明人 |
TOSHIHIKO * AOKI;TORU * YAKU;TETSURO * KIRIYAMA |
| 分类号 |
G01B11/00;G01D5/347;G01D5/36;H01L31/02;(IPC1-7):G01D5/347 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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