发明名称 |
Undulated moat for reducing contact resistance |
摘要 |
The present invention includes a method of forming a semiconductor device.
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申请公布号 |
US6780742(B1) |
申请公布日期 |
2004.08.24 |
申请号 |
US20030613195 |
申请日期 |
2003.07.03 |
申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
WASSHUBER CHRISTOPH |
分类号 |
H01L21/285;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/285 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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