发明名称 SLURRIES OF ABRASIVE INORGANIC OXIDE PARTICLES AND METHOD FOR POLISHING COPPER CONTAINING SURFACES
摘要
申请公布号 PL359264(A1) 申请公布日期 2004.08.23
申请号 PL20010359264 申请日期 2001.04.11
申请人 W.R.GRACE & CO.-CONN. 发明人 PRYOR JAMES NEIL
分类号 B24B37/00;B05D7/00;C09D163/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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