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经营范围
发明名称
SLURRIES OF ABRASIVE INORGANIC OXIDE PARTICLES AND METHOD FOR POLISHING COPPER CONTAINING SURFACES
摘要
申请公布号
PL359264(A1)
申请公布日期
2004.08.23
申请号
PL20010359264
申请日期
2001.04.11
申请人
W.R.GRACE & CO.-CONN.
发明人
PRYOR JAMES NEIL
分类号
B24B37/00;B05D7/00;C09D163/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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