| 主权项 |
1.一种半导体装置,包括一记忆胞阵列,系由复数个 行排置与列排置之单元记忆胞所构成,其中该单元 记忆胞包括: 一第一、第二场效电晶体,其具有一第一导电型式 ; 一第三、第四场效电晶体,其具有一第二导电型式 ;以及 一第一、第二电阻元件; 其中,该单元记忆胞系为一无负荷型四电晶体胞, 其配置结构包括: 该第一场效电晶体之源/汲极路径系连接于一第一 电源器以及一第一节点之间; 该第二场效电晶体之源/汲极路径系连接于该第一 电源器以及一第二节点之间; 该第一场效电晶体之闸极系连接至该第二节点,该 第二场效电晶体之闸极系连接至该第一节点; 该第三场效电晶体之源/汲极路径系与该第一电阻 元件构成一连续接连结构,且连接于该第一节点与 一第一位元线之间; 该第四场效电晶体之源/汲极路径系与该第二电阻 元件构成一连续接连结构,且连接于该第二节点与 一第二位元线之间,且该第一位元线与该第二位元 线系构成为一对;以及 该第三场效电晶体与该第四场效电晶体之闸极均 连接至一字元线。 2.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中该 第一导电型式系与该第二导电型式相反。 3.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中该 第一、第二场效电晶体系为一N型场效电晶体,该 第三、第四场效电晶体系为一P型场效电晶体,以 及该第一电源器系为一低功率电源器。 4.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中该 第一导电型式系与该第二导电型式相同。 5.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中该 第一、第二、第三、第四场效电晶体均为一N型场 效电晶体,以及该第一电源器系为一低功率电源器 。 6.如申请专利范围第1项所述之半导体装置,其中该 第一电阻元件系形成于一扩散区域中,且该扩散区 域是用来作为该第三场效电晶体之一电极,该第二 电阻元件系形成于一扩散区域中,且该扩散区域是 用来作为该第四场效电晶体之一电极。 7.如申请专利范围第6项所述之半导体装置,其中该 第一、第二电阻元件系为一低浓度之扩散区域。 8.如申请专利范围第2或3项所述之半导体装置,其 中该第一电阻元件系连接于该第三场效电晶体与 该第一位元线之间,且该第二电阻元件系连接于该 第四场效电晶体与该第二位元线之间。 9.如申请专利范围第4项所述之半导体装置,其中该 第一电阻元件系连接于该第三场效电晶体与该第 一节点之间,且该第二电阻元件系连接于该第四场 效电晶体与该第二节点之间。 10.如申请专利范围第2或3项所述之半导体装置,其 中该第一电阻元件系形成于一接触洞中,该接触洞 系形成于一用以连接该第三场效电晶体与该第一 位元线之连接路径上,且该第二电阻元件系形成于 一接触洞中,该接触洞系形成于一用以连接该第四 场效电晶体与该第二位元线之连接路径上。 图式简单说明: 第1A图显示本发明一实施例之半导体装置的区块 图。 第1B图显示本发明一实施例之半导体装置的记忆 胞阵列的区块示意图。 第1C图显示本发明一实施例之半导体装置的单元 记忆胞的电路图。 第2A图显示电压(Vg)与电流(Id)之关系的对数规格图 ,其中电压(Vg)位于横轴,电流(Id)位于纵轴。 第2B图显示电压(Vg)与电流(Id)之关系的线性规格图 ,其中电压(Vg)位于横轴,电流(Id)位于纵轴。 第2C图显示量测电压(Vg)与电流(Id)之电路图。 第3图系为使用第2图所示之Id-Vg特性,对单元记忆 胞MC1的SNM模拟结果图。 第4图显示第1C图所示之单元记忆胞MC1之每个电晶 体的闸极、扩散区域以及接触洞之位置关系图。 第5图系显示第4图之切线A-A'的剖面示意图,且其另 包含有一上金属线层。 第6A~6D图系沿第4图之切线A-A'显示于构成PMOS之电 极的P型扩散区域中制作电阻器的方法剖面图。 第7A~7B图系沿第4图之切线A-A'显示相同于单元记忆 胞MC1之每个电晶体的闸极、扩散区域以及接触洞 之位置关系中形成金属矽化物层的方法剖面图。 第8图显示第1C图所示之单元记忆胞MC1之每个电晶 体的闸极、扩散区域以及接触洞之位置关系图,其 中接触洞是用来提供闸极与扩散区域之间的内连 接线。 第9图系显示第8图之切线B-B'的剖面示意图,且其另 包含有一上金属线层。 第10A~10D图系沿第8图之切线B-B'显示于位元接触洞 中制作电阻器的方法剖面图。 第11A图显示单元记忆胞MC1之配置变化的电路图。 第11B图显示单元记忆胞MC1之配置变化的平面图,以 显示每个电晶体的闸极、扩散区域以及接触洞之 位置关系。 第11C图系显示第11B图之切线C-C'的剖面示意图,且 其另包含有一上金属线层。 第12图显示例一之半导体装置中记忆胞M1以及记忆 胞M3之电路图。 第13图显示例二之SRAM记忆胞的电路图。 第14图显示例三之无负荷型四CMOS电晶体之SRAM记忆 胞的电路图。 第15A~15C图解释单元记忆胞之SNM。 |
