发明名称 Vorrichtung zur elektrolytischen Behandlung
摘要
申请公布号 DE69533245(D1) 申请公布日期 2004.08.19
申请号 DE19956033245 申请日期 1995.03.22
申请人 NEC ELECTRONICS CORP., KAWASAKI 发明人 KITAJIMA, HIROSHI;AOKI, HIDEMITSU;HAMANO, HARUTO;SHIRAMIZU, YOSHIMI;NAKAMORI, MASAHARU;WATANABE, KAORI;SEO, HIROFUMI;SHIMIZU, YUJI;IUCHI, MAKOTO;SASAKI, YASUSUHI;OHTA, NAOMI;MAKOTO, MORITA
分类号 C02F1/461;H01L21/00;(IPC1-7):C25F7/00;C25F3/12;C02F1/46 主分类号 C02F1/461
代理机构 代理人
主权项
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