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Beim Kontrollieren des Randbereiches eines Wafers auf Fehler, wie Haarrisse und/oder Muschelausbrüche, wird der Randbereich des Wafers gleichzeitig an beiden Seiten, d. h. oben und unten, durch einen mit einer Kamera ausgestatteten optischen Sensor abgebildet, während sich der Wafer um eine zu seiner Fläche normale Achse dreht. Die so gewonnenen Bilder werden gespeichert. Um bei exzentrisch auf einem sich drehenden Träger gehaltenem Wafer den optischen Sensor dem Randbereich beim Aufnehmen des Randbereiches nachführen zu können, wird der Verlauf des Randbereiches vorher bestimmt, indem der auf dem Träger gehaltene Wafer im Bereich eines Liniensensors gedreht wird. Entsprechend dem so ermittelten Verlauf des Randbereiches des Wafers wird der optische Sensor radial zu dem den Wafer drehenden Träger bewegt, so dass er stets - und auch im Bereich eines allenfalls vorhandenen Flat am Waferrand - zum Rand des Wafers richtig ausgerichtet bleibt.
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