Prüfstation mit integrierter Umgebungskontroleinrichtung,申请号DE19936022904T-传众专利搜索

发明名称	Prüfstation mit integrierter Umgebungskontroleinrichtung
摘要
申请公布号	DE69322904(T3)	申请公布日期	2004.08.19
申请号	DE19936022904T	申请日期	1993.05.20
申请人	CASCADE MICROTECH, INC.	发明人	HARWOOD, WARREN K.;KOXXY, MARTIN J.;TERVO, PAUL A.
分类号	H01L21/66;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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