发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69918636(D1) 申请公布日期 2004.08.19
申请号 DE19996018636 申请日期 1999.04.22
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN 发明人 VERHAAR, D.;GARBE, C.;DORMANS, J.
分类号 H01L21/00;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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