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发明名称
ELECTROSTATIC BONDING CHUCK WITH INTEGRATED RADIO FREQUENCY ELECTRODE AND THERMOSTATIC MEANS
摘要
申请公布号
CA2514616(A1)
申请公布日期
2004.08.19
申请号
CA20042514616
申请日期
2004.02.05
申请人
SEMCO ENGINEERING S.A.
发明人
PELLEGRIN, YVON
分类号
H01L21/68;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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