在线品质检测参数分析方法

摘要

一种在线品质检测参数分析方法，包括以下步骤：分析在线品质检测参数值是否合乎预设规格；当在线品质检测参数值未合乎预设规格时，从数据库中搜寻与在线品质检测项目相关的样品测试项目或晶圆测试项目；根据在线品质检测项目及所搜寻到的样品测试项目或晶圆测试项目，从数据库中搜寻相对应的各批库存产品的测试参数值；依据库存产品的搜寻结果产生在线品质检测项目与样品测试项目的关系式或在线品质检测项目与晶圆测试项目的关系式。

主权项

1、一种在线品质检测参数分析方法，用以分析多批分别具有一个批号的产品，该多批产品经过多个机台所制得，而每批产品中的一片或以上的晶圆至少经过一个在线品质检测项目的测试以产生一个在线品质检测参数值，该在线品质检测项目及与该在线品质检测项目相关的一个样品测试项目以及一个晶圆测试项目储存于一个数据库中，该数据库还储存有该在线品质检测参数值以及多批产出良率高的库存产品的各项测试项目与测试参数值，该在线品质检测参数分析方法包含：分析该在线品质检测参数值是否合乎预设规格；当该在线品质检测参数值未合乎该预设规格时，从该数据库中搜寻与该在线品质检测项目相关的该样品测试项目及该晶圆测试项目其中的至少一个；依据该在线品质检测项目及所搜寻到的该样品测试项目及该晶圆测试项目其中的至少一个，从该数据库中搜寻相对应的该多批库存产品的测试参数值；以及依据该多批库存产品的搜寻结果产生该在线品质检测项目与该样品测试项目的关系式，及该在线品质检测项目与该晶圆测试项目的关系式其中的至少一个。