发明名称
摘要
申请公布号 JP3554554(B2) 申请公布日期 2004.08.18
申请号 JP20010400583 申请日期 2001.12.28
申请人 发明人
分类号 H05K3/40;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H05K3/40
代理机构 代理人
主权项
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